| 工作電壓&功率 | AC220V 單相 50/60Hz 100W |
| PLC觸摸屏? |
l 通過(guò)6″PLC觸摸屏對(duì)ALD蒸汽脈沖時(shí)間、氣體流量等參數(shù)進(jìn)行設(shè)定控制
l 可控制2個(gè)ALD閥門(mén)的脈沖時(shí)間以及循環(huán)次數(shù)（毫秒級(jí)）
l 可控制4通道的氣體流量（4通道質(zhì)子流量計(jì)，精度±0.2%F.S）
l 真空壓力顯示
l 請(qǐng)點(diǎn)擊左圖查看控制界面
l RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制 |
| ALD進(jìn)氣閥 | l 對(duì)于兩種前驅(qū)體氣體的沉積，需2個(gè)ALD進(jìn)氣閥進(jìn)行控制（不包含在設(shè)備中）
l 客戶可使用自己已有的ALD閥或點(diǎn)擊下圖選購(gòu)本公司ALD閥
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| 流量控制 |
l 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可用于4路氣體的通入和混合 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM
l 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
l 工作溫度：5~45oC 耐壓:3MPa
l 精度: ±1.5% FS 線性: ±1%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S. |
| 通氣管道 | l 內(nèi)置不銹鋼混氣罐
l 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
l 外部通氣管道為1/4”聚四氟管 |
| 混氣罐 | Φ80X120mm |
| 截止閥及配件 | 316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管 |
| 尺寸 | 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
| 質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期，終生維護(hù) |
| 可選配件 | l 可選購(gòu)氣液混合裝置用于蒸汽的通入，點(diǎn)擊下圖查看詳情
l 客戶可另外付費(fèi)由本公司對(duì)ALD控制單元以及管式爐系統(tǒng)進(jìn)行連接組裝。
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