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自動(dòng)多層旋涂機(jī)（1000層，可加熱烘干）
- 關(guān)鍵字：
- 交替涂覆、真空吸盤(pán)、千層薄膜制備
- 型號(hào)：
- VTC-100ML
- 產(chǎn)品概述：
- VTC-100ML自動(dòng)多層旋涂機(jī)（1000層，可加熱烘干）適用于鈣鈦礦材料的涂膜，半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實(shí)現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個(gè)過(guò)程自動(dòng)完成；可同時(shí)交替涂覆兩種薄膜，兩種液體各交替最多500次，實(shí)現(xiàn)千層薄膜的涂覆。本機(jī)可用于酸、堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配不同尺寸的真空吸盤(pán)，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤(pán)，利用真空吸附的方式固定基片。該機(jī)主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 主要特點(diǎn)
|
1、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。
2、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。
3、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī)，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低，震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)， 可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
4、采用無(wú)油真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
5、腔體采用聚四氟乙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能；機(jī)身采用鈑金結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
6、加熱后可通氣體進(jìn)行快速冷卻。
7、中文操作界面（全英文操作系統(tǒng)可選）
8、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
9、控制界面采用觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)單方便，顯示直觀。
10、全自動(dòng)的涂膜過(guò)程：自動(dòng)滴膠、自動(dòng)通氣、自動(dòng)旋涂、自動(dòng)烘干。
11、可兩種液體交替涂膜，最多可涂1000層薄膜。 |
| 主要參數(shù)
|
1、電源：主機(jī)24V 蠕動(dòng)泵24V 加熱：220V 50HZ
2、功率：總功率1200W 加熱：1350W
3、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：500-10000rpm(最小增量為1rpm。)
4、運(yùn)行程序：該機(jī)每次涂膜可分AB兩組運(yùn)行程序完成，每組程序分為六段運(yùn)行，每組程序可循環(huán)500次，兩組程序最多可涂1000層薄膜。
5、增減速率設(shè)置范圍：10rpm/s-2000rpm/s(增量為10的整數(shù)倍)
6、加熱功能：
加熱范圍：RT-200℃（腔體采用耐熱耐腐蝕的聚四氟材質(zhì)）(碳纖維加熱管)
7、聚四氟真空吸盤(pán)和鋁制吸盤(pán)，規(guī)格：1英寸，2英寸，4英寸。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格
|
產(chǎn)品規(guī)格：尺寸：
旋涂機(jī)450x400x580mm;
蠕動(dòng)泵270x310x280mm；
·重量：50kg 
|
| 安裝條件
|
本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：不需要
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。
3、氣：壓縮氣體或自行規(guī)定的保護(hù)氣體
4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×900mm，承重50kgs以上 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件
|
| 序號(hào) | 名稱 | 數(shù) 量 | 圖片鏈接 | | 1 | 真空吸盤(pán)（含O型圈） | 6個(gè)（?25.4mm、?50.8mm、?101.6mm） |  | | 2 | 中心定位器 | 3個(gè) | - | | 3 | 滴膠注射器（20ml） | 2個(gè) |  | | 4 | 微量蠕動(dòng)泵 | 1套 | - | | 5 | 無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) |  |
|
| 可選配件
|
序號(hào)
| 名稱
| 功能類別
| 圖片鏈接
| | 1 |
其它尺寸的真空吸盤(pán)
| （ 可選）
|  
| | 2 | 靜音無(wú)油空氣壓縮機(jī)
| （可選） |  |
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