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防腐型供氣系統(tǒng)(100 -1000 mL/min)
型號：
EQ-CGM-3F-PTFE
產(chǎn)品概述：
EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混氣系統(tǒng)，可以與管式爐一起放在小通風(fēng)柜中。其中與氣體接觸的部件均由聚四氟乙烯制成（例如閥門、管道、混合罐和流量計），用于輸送腐蝕性氣體，例如用于 CVD 處理的硫化氫 (H2S) 和硒化氫 (H2Se)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
流量計

·三個由聚四氟乙烯制成的防腐氣體流量計，流速為100-1000 mL/min（0.1-1.0 L/min）；

·一個機(jī)械壓力表（混合罐）：0-0.05 MPa
閥門

·前面板有三個聚四氟乙烯針閥，用于控制氣體出口

圖片4.png
儲氣罐

·500 mL聚四氟乙烯儲氣罐；

·內(nèi)置氣體混合罐，可更好的混合氣體
管道配件

·由聚四氟乙烯制成的管道配件，可兼容φ6.35mm的管道（尼龍或不銹鋼）；

·有三個氣體入口，每個通道都有獨立的氣體流量計；

·12”長1/4”直徑的聚四氟管

圖片5.png 圖片6.png
尺寸

·外形尺寸：340Lx300Dx180H，mm
重量

·7.25kg
質(zhì)保期

·一年
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                   CVD&PECVD                                          供液系統(tǒng)
應(yīng)用提示

·如果您的CVD實驗涉及腐蝕性氣體，如硫化氫，您可選購我公司聚四氟乙烯法蘭
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