| 電源 | ·總功率：3000W ·208-240VAC, 單相, 50/60Hz |
| 微波 | ·頻率：2.45 GHz ±25 MHz ·輸出功率：1400W ·微波泄露率：≤ 3 mW/cm2（1米范圍內(nèi)） ·一個(gè)數(shù)字功率調(diào)整器用于調(diào)節(jié)功率輸出（10-100%） |
| 加熱模塊和爐管 | ·多孔SIC輔助加熱，直徑80mm,安裝在氧化鋁纖維保溫層內(nèi)（圖1） ·加熱模塊安裝在微波腔體內(nèi) ·Φ50mm的石英爐管，中間焊接有石英揚(yáng)料板（圖2）
圖1 圖2 |
| 密封法蘭&真空度 | ·一對(duì)真空密封法蘭安裝在石英爐管兩端 ·KF25真空接口和1/4英寸進(jìn)氣和出氣口，不銹鋼針閥安裝在法蘭上（圖1） ·一個(gè)數(shù)顯型防腐真空計(jì)安裝在法蘭上，用于顯示爐管內(nèi)真空度（圖2） ·真空度：10-2torr（采用干泵） 10-5torr(采用分子泵系統(tǒng)） ·設(shè)備中不包含真空泵，需要額外花費(fèi)用購買，對(duì)于CVD實(shí)驗(yàn)建議選用干泵（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 直連式旋轉(zhuǎn)通氣接口&轉(zhuǎn)速 | ·2個(gè)直連式轉(zhuǎn)動(dòng)通氣接頭安裝在兩端法蘭上，可在爐管一邊轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)一邊通入氣體。 ·轉(zhuǎn)動(dòng)速度：采用一個(gè)直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速1-5RPM ·通氣接口規(guī)格：Φ6.35mm
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| 工作溫度 | ·最高工作溫度：1100℃（≤2小時(shí)） ·連續(xù)工作溫度：1000℃ ·加熱速率：1~20℃/min (可設(shè)置） ·僅僅通過微波約可以加熱溫度為750℃ |
| 溫度控制器 | ·可設(shè)置30段溫度段：加熱速率，保溫時(shí)間，降溫速率 ·SCR溫度控制 ·超溫和斷偶保護(hù) ·控溫精度：±1℃ ·一根K型熱偶插入到爐管內(nèi)部
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| 凈重 | ·50kg |
| 設(shè)備尺寸 | ·微波發(fā)生器：560(L) x 410(W) x 340(H) mm ·設(shè)備總深度（包括爐管和法蘭）：780mm ·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm |
| 質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保期，終生維護(hù) ·耗材：坩堝，爐管。加熱元件和密封圈不在質(zhì)保期內(nèi) |
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